Arrow™ 系列 AFM 针尖 - 概述

一般信息

  • 用于高分辨率成像的 SPM 和 AFM 探针
  • 适用于所有知名的商业 SPM 和 AFM
  • 悬臂和针尖由单晶硅支撑芯片支撑
  • 支撑芯片、悬臂和针尖的整体设计

材料特性

  • 高掺杂单晶硅(电阻率 0.01 - 0.025 Ohm•cm)
  • 没有内在应力和绝对笔直的悬臂
  • 用于流体或电化学电池的化学惰性硅

悬臂

  • 带有三角形自由端的矩形悬臂
  • 借助 Arrow™ 形状,可轻松将针尖定位在感兴趣的区域;
  • 针尖和悬臂端之间的距离一致
  • 具有宽探测器边的梯形横截面,便于激光调整

支持芯片

  • 支持芯片的尺寸重现性非常好(3.4 毫米 x 1.6 毫米 x 0.3 毫米)
  • 支撑芯片的蚀刻角避免了支撑芯片与样品之间的接触

针尖

  • 针尖呈四面体形状,位于悬臂的最末端
  • 针尖高度 10-15 µm,曲率半径通常
  • 10 纳米(保证小于15纳米)
  • 宏观半锥角
      - 为 30°至 35°沿悬臂轴观察
      - 为 20°至 25°从侧面看

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