PointProbe® 系列硅AFM针尖 - 概述

一般信息

• 用于超高分辨率成像的 SPM 和 AFM 探针
• 适用于所有知名的商业 SPM 和 AFM
• 悬臂和针尖由单晶硅支撑芯片支撑
• 支撑芯片、悬臂和针尖的整体设计

材料特性

• 高掺杂单晶硅（电阻率 0.01 - 0.025 Ohm•cm）
• 没有内在应力和绝对笔直的悬臂
• 用于流体或电化学电池的化学惰性硅

悬臂

• 具有梯形横截面的长方形悬臂
• 宽检测器侧面，便于激光束调整
• 针尖侧面的小宽度可降低阻尼

支持芯片

• 悬臂集成到硅支撑芯片中
• 支持芯片的尺寸重现性非常好（3.4 毫米 x 1.6 毫米 x 0.3 毫米）
• 硅支撑芯片背面的对齐凹槽与对齐芯片相结合，确保更换探头时无需对激光束进行重大重新调整

针尖

• 针尖的形状像一个基于多边形的金字塔
• 针尖高度 10-15 µm，曲率半径通常为8 nm（保证< 12 nm)
• 宏观半锥角：
      - 20°至 25°沿悬臂轴看
      - 25°至 30°从侧面看