Pointprobe® 系列 AFM 针尖 - 特殊版本

SuperSharpSilicon^TM 针尖 (SSS)

为了提高微粗糙度和纳米结构的分辨率，我们开发了
一种先进的针尖制造工艺，可进一步提高针尖的锐度
针尖半径小至 2 nm。
有了这些AFM 针尖我们已经推动了技术的前沿。

探针特点
探针高度为 10 - 15 微米，是 SuperSharpSilicon&trade 的典型曲率半径。针尖约为 2 nm。我们保证针尖半径小于 5 nm（保证良率：80%）。
半锥角小于 10°在针尖的最后 200 nm。

高深宽比针尖 (AR5/AR5T)

用于测量侧壁角度接近 90° 的样品，例如深沟槽测量或其他半导体应用，我们提供两种不同类型的高深宽比针尖，显示接近垂直侧壁。
这些针尖的总高度为 10 - 15 μm，允许在高度
波纹上进行测量样品。在最后几微米处，针尖显示出高深宽比
从侧面以及沿悬臂轴观察时对称的部分
。针尖半径通常为 10 nm（保证小于 15 nm）。

探针特性
AR5/AR5T 探针的高深宽比部分大于 2 μm，并且显示出的深宽比通常为 7:1（保证最小的深宽比为 5:1 ）。
因此，高深宽比部分的半锥角通常小于 5°。为了在扫描深沟时获得对称图像，针尖必须垂直于样品。因此，为了补偿最常见的13°倾斜角。用于商业原子力显微镜，AR5T 的高深宽比部分倾斜度为 13°，相对于针尖的中心轴。

金刚石涂层针尖 (DT)、导电金刚石涂层针尖 (CDT)

对于需要探针和样品之间硬接触的 SPM 和 AFM 应用，我们推荐我们的金刚石涂层针尖 (DT)。
一些典型应用是摩擦力测量、样品弹性性能测量以及磨损测量或纳米结构构造。
导电金刚石涂层针尖 (CDT) 另外提供导电的非钝化涂层。

针尖和涂层特性
悬臂针尖侧的真正多晶金刚石涂层具有
无与伦比的金刚石硬度。
针尖高度为 10 - 15 μm，金刚石层的厚度约为100 nm。
宏观针尖半径在 100 - 200 nm 范围内，但针尖通常在 10 nm 范围内表现出纳米粗糙度。
CDT 涂层的电导率范围为 0.003 - 0.005 Ohm•cm