超短悬臂系列 - 概述 - AFM 针尖 - NanoWorld

概述

  • 专为高速扫描应用而设计
  • 由于悬臂尺寸小,不能用于所有商业 SPM 和 AFM
  • 悬臂和针尖由单晶硅支撑芯片支撑
  • 没有内在应力和绝对笔直的悬臂

悬臂

  • 独立端带圆角的长方形悬臂
  • 由类石英材料制成的悬臂

支持芯片

  • 硅支撑芯片的尺寸重现性非常好(3.4 毫米 x 1.6 毫米 x 0.3 毫米)
  • 支撑芯片的蚀刻角和降低的角避免了支撑芯片与样品之间的接触
  • 硅支撑芯片背面的对齐凹槽与对齐芯片相结合,确保更换探头时无需对激光束进行重大重新调整

针尖

  • nanotools®高密度碳/类金刚石碳 (HDC/DLC) 针尖
  • 针尖高度通常为 2.5 μm,曲率半径通常 10 纳米  
  • 针尖深宽比通常为 5:1,倾斜补偿为 8°

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