EFM - NanoWorld®

类型: EFM

静电力调制显微镜 - 铂铱5 涂层

悬臂数据	数值	范围*
共振频率	75 kHz	60 - 90 kHz
力常数	2.8 N/m	1.2 - 5.5 N/m
长度	225 µm	220 - 230 µm
评价宽度	28 µm	22.5 - 32.5 µm
厚度	3 µm	2.5 - 3.5 µm

*典型值

如何优化AFM扫描参数

如何在 Bruker® AFM 系统上使用

Point Probe AFM tip

产品说明

NanoWorld® Pointprobe® EFM 探针是专为静电力显微镜而设计。 EFM 类型的力常数和特殊涂层针对此类应用进行了优化。这种类型的探针具有非常高的力灵敏度，同时能够实现轻敲和提升模式操作。

Pointprobe® 系列的所有 SPM 和 AFM 探针均由单片硅制成，该硅经过高度掺杂以消散静电荷。它们是化学惰性的，并提供高机械 Q 因子以实现高灵敏度。这些探针形状类似于基于多边形的金字塔，典型高度为 10 - 15 µm。

此外，该探针的针尖曲率半径小于 25 nm。

悬臂的梯形横截面和因此以30%（例如 NCH）更宽的悬臂探测器侧导致更容易和更快的激光调整。此外，因为有更多的空间来放置和反射激光束，所以可以达到更高的 SUM 信号。

探针形状: 标准

涂层: 导电

PtIr5 涂层

PtIr5 涂层由沉积在悬臂两侧的 23 nm 厚铂铱 5 层组成。探针侧涂层增强了探针的导电性并允许电接触。检测器侧涂层可将激光束的反射率提高两倍，并防止光在悬臂内干扰。

涂层工艺经过优化，可实现应力补偿和耐磨性。如果在接触、摩擦或力调制模式下运行，可能会发生针尖磨损。由于涂层几乎无应力，因此应力引起的悬臂弯曲小于 2 度。